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    2020-8-8

姜正
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兴之扬吹风机钢网片小编给大家介绍湿式蚀刻对溶液浓度及温度有什么要求:

湿式蚀刻的速率通常可藉由改变溶液浓度及温度予以控制。溶液浓度可改变反应物质到达及离开待蚀刻物表面的速率,一般而言,当溶液浓度增---,蚀刻速率将会提高。而提高溶液温度可加速化学反应速率,进而加速蚀刻速率。

湿式蚀刻除了溶液的选用外,选择适用的屏蔽物质亦是十分重要的,它必须与待蚀刻材料表面有---的附着性、并能承受蚀刻溶液的侵蚀且稳定而不变质。而光阻通常是一个---的屏蔽材料,且由于其图案转印步骤简单,因此常被使用。但使用光阻作为屏蔽材料时也会发生边缘剥离或龟裂的情形。边缘剥离乃由于蚀刻溶液的侵蚀,造成光阻与基材间的黏着性变差所致。解决的方法则可使用黏着促进剂来增加光阻与基材间的黏着性,如hexamethyl-disilazane(hmds)。龟裂则是因为光阻与基材间的应力差异太大,减缓龟裂的方法可利用较具弹性的屏蔽材质来吸收两者间的应力差。

蚀刻化学反应过程中所产生的气泡常会造成蚀刻的不均匀性,气泡留滞于基材上阻止了蚀刻溶液与待蚀刻物表面的接触,将使得蚀刻速率变慢或停滞,直到气泡离开基材表面。因此在这种情况下会在溶液中加入一些催化剂增进蚀刻溶液与待蚀刻物表面的接触,并在蚀刻过程中予于搅动以加速气泡的脱离。



兴之扬蚀刻不锈钢网片小编来向大家说说电浆干法蚀刻制程参数:

电浆蚀刻制程参数一般包括了射频(rf)功率、压力、气体种类及流量、蚀刻温度及腔体的设计等因素,而这些因素的综合结果将直接影响蚀刻的结果。

射频(rf)功率是用来产生电浆及提供离子能量的来源,因此功率的改变将影响电浆中离子的密度及撞击能量而改变蚀刻的结果。压力也会影响离子的密度及撞击能量,另外也会改变化学聚合的能力;蚀刻反应物滞留在腔体内的时间正比于压力的大小,一般说来,延长反应物滞留的时间将会提高化学蚀刻的机率并且提高聚合速率。气体流量的大小会影响反应物滞留在腔体内的时间;增加气体流量将加速气体的分布并可提供更多未反应的蚀刻反应物,因此可降低负载效应(loadingeffect);改变气体流量也会影响蚀刻速率。原则上温度会影响化学反速率及反应物的吸附系数(adsorptioncoefficient),提高芯片温度将使得聚合物的沉积速率降低,导致侧壁的保护减低,但表面在蚀刻后会较为干净;增加腔体的温度可减少聚合物沉积于管壁的机率,以提升蚀刻制程的再现性。晶圆背部---气循环流动可控制蚀刻时晶圆的温度与温度的均匀性,以避免光阻烧焦或蚀刻轮廓变形。其它尚须考虑的因素还有腔体的材质,一般常见的材质包含铝、陶瓷、石英、硅及石墨等,不同的腔体材质会产生不同的反应产物并会改变蚀刻的直流偏压。



为什么说支撑蚀刻不锈钢需求扩大和新开发材料批量生产的是生产技术的提高:

可以说更廉价和、---良的不锈钢生产技术及供应体制,确立了如高纯铁素体不锈钢和双相不锈钢等生产难度大的材料的批量生产技术,并对不锈钢市场的扩大发挥了---作用。近十年来,不锈钢粗钢产量以年增长率5%的速度增长,的不锈钢生产设备投资目前仍在继续,甚至出现了一家公司不锈钢板坯生产规模达到300万吨/年的可与日本总生产能力相---的---型不锈钢企业。另外印度也公布了---设备投资计划,因此有---对今后不锈钢的供需平衡,---是对亚洲地区的供需平衡加以关注。



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