smt蚀刻不锈钢网-莞城不锈钢网-兴之扬蚀刻加工

兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解干法蚀刻电浆形成之原理：

电浆的产生可藉由直流(dc)偏压或交流射频(rf)偏压下的电场形成，如图5-3所示，而在电浆中的电子来源通常有二：一为分子或原子解离后所产生的电子，另一则为离子撞击电极所产生的二次电子(secondaryelectron)，在直流(dc)电场下产生的电浆其电子源主要以二次电子为主，而交流射频(rf)电场下产生的电浆其电子源则以分子或原子解离后所产生的电子为主。

在电浆干法蚀刻中以直流方式产生辉光放电的缺点包含了：1)需要较高的功率消耗，也就是说产生的离子密度低；2)须要以离子撞击电极以产生二次电子，如此将会造成电极材料的损耗；3)所需之电极材料必须为导体。如此一来将不适用于晶圆制程中。

在射频放电(rfdischarge)状况下，由于高频操作，使得大部份的电子在半个周期内没有足够的时间移动至正电极，因此这些电子将会在电极间作振荡，并与气体分子产生碰撞。而射频放电所需的振荡频率下限将视电极间的间距、压力、射频电场振幅的大小及气体分子的解离位能等因素而定，而通常振荡频率下限为50khz。一般的射频系统所采用的操作频率大都为13.56mhz。

ph值在蚀刻不锈钢网片过程中充当着重要的角色：

ph值对光致抗蚀剂的性能也有重大的影响，低ph值有助于少的侧蚀(较高的蚀刻系数)。

高ph值一般是针对快速蚀刻而言的。系统每天都开，但板子不是连续运行的，所以水会因挥发造成损失，但这种损失远少于从nhoh添加液中获得的量。所以当ph值过高时，必须增加排气量，升高铜含量或降低补充液中的总碱度，高ph值有助于较多的铜的溶解。高ph值会产生较大的侧蚀并会影响到一些光致抗蚀剂的性能，---是水溶性光致抗蚀剂，---或nh4oh的添加通常是由一个ph感应控制系统自动完成的。因为nh4oh含水，所以水的补加就必须保持平衡，以---添加的水不会使氯离子或铜的浓度降低到它们的值下面。

当碱性蚀刻液的ph值较高时，一些水溶性的抗蚀剂就会软化，甚至被剥除。因此，较低的ph值可以被应用于精细线路的蚀刻。如果ph值过低，必须通过降低排气，降低铜含量，加入---或增加补充液中的总碱度。溶液的ph值在铜的可溶性控制、蚀刻速率和侧蚀方面非常关键。补充液中的nh4oh提供了大量的需要维持碱性的ph值(远高于7．0)的基础液，但额外需要的---要求达到的ph值范围(远大于7．0)。相反，低ph值是针对慢速蚀刻的。当---中不含会搅乱系统平衡性的水时，氨气在ph值的控制下会工作得---，但使用时是相当危险的。因此，高ph值的碱性蚀刻剂一般运用于高产率的生产。然而，对于一个给定的碱性蚀刻体系，ph值必须高于低值(依赖于铜的浓度)，目的是为了维持溶液中的铜盐含量。